隨著科技的飛速發(fā)展，半導(dǎo)體工廠對(duì)于自動(dòng)化生產(chǎn)模式產(chǎn)生了迫切的需求。通過AMHS智能物流系統(tǒng)在各個(gè)工藝設(shè)備之間進(jìn)行物料傳輸，不僅可以提高工廠的生產(chǎn)效率，還可以監(jiān)控物料的狀態(tài)和每一片晶圓的生產(chǎn)過程，從而保證產(chǎn)品的品質(zhì)。AMHS系統(tǒng)在半導(dǎo)體行業(yè)被廣泛應(yīng)用，如半導(dǎo)體IC晶圓廠中使用的天車系統(tǒng)等，但由于其成本投入巨大，在LED晶圓工廠難以實(shí)施，所以LED晶圓傳輸基本上處于人工操作的原始狀態(tài)，效率較低，也無法滿足如Mini LED，Micro LED等高端產(chǎn)品的高品質(zhì)要求。

      福賽特自主研發(fā)的MOCVD AMHS智能物流系統(tǒng)，已經(jīng)在行業(yè)頭部客戶處投入運(yùn)行生產(chǎn)。該系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)MOCVD工藝設(shè)備的晶圓倒片、晶圓傳輸以及數(shù)據(jù)記錄和追溯功能，有效降低了人工成本，并通過全自動(dòng)生產(chǎn)的方式減少了人工參與造成的產(chǎn)品不良，降低了石墨盤的損耗從而提高了其使用壽命。  

      該系統(tǒng)主要分為倒片區(qū)設(shè)備和MOCVD工藝設(shè)備區(qū)設(shè)備。倒片區(qū)設(shè)備主要包括晶圓倒片機(jī)，電子貨架、倒片區(qū)定制AGV和AGV充電設(shè)備；MOCVD工藝設(shè)備區(qū)設(shè)備主要包括MOCVD工藝設(shè)備、MOCVD中轉(zhuǎn)單元、工藝設(shè)備區(qū)定制AGV和AGV充電設(shè)備。除MOCVD工藝設(shè)備外的其它所有設(shè)備均由上海福賽特機(jī)器人有限公司提供。MOCVD AMHS智能物流系統(tǒng)具有全自動(dòng)、高節(jié)拍、高精度、高配置、智能化、可擴(kuò)展等特點(diǎn)。

MOCVD AMHS智能物流系統(tǒng)具有全自動(dòng)、高節(jié)拍、高精度、高配置、智能化、可擴(kuò)展等特點(diǎn)。

· AGV運(yùn)載石墨盤根據(jù)調(diào)度系統(tǒng)指令自動(dòng)在電子貨架、晶圓倒片機(jī)、MOCVD中轉(zhuǎn)單元之間對(duì)接；

· 電子貨架存儲(chǔ)石墨盤且與中控系統(tǒng)實(shí)時(shí)通訊并監(jiān)控石墨盤狀態(tài)；

· 晶圓倒片機(jī)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)上下石墨盤、Pocket自動(dòng)清潔、晶圓mapping、晶圓尋邊、Wafer ID讀取、自動(dòng)上片、自動(dòng)下片、Wafer ID與盤SN綁定LINK后上傳至MES；

·MOCVD中轉(zhuǎn)單元與MOCVD工藝設(shè)備無縫對(duì)接，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)上下石墨盤，收集MOCVD腔體狀態(tài)信息并與中控系統(tǒng)通訊；

·該系統(tǒng)上下片的節(jié)拍為425pcs/小時(shí)；產(chǎn)品良率≧99.9%；晶圓片上下片重復(fù)定位精度可達(dá)到±0.05mm，±0.1度以內(nèi)。

       MOCVD AMHS 智能物流系統(tǒng)能夠大幅提升工藝設(shè)備的運(yùn)行效率，顯著提升產(chǎn)品良率，是LED半導(dǎo)體高端制造的首選。福賽特將繼續(xù)深耕半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)，在已推出的PVD晶圓倒片機(jī)，PSS晶圓上下片機(jī)，MOCVD AMHS系統(tǒng)等獨(dú)家自主研發(fā)產(chǎn)品的基礎(chǔ)上，繼續(xù)加大研發(fā)力度，進(jìn)一步優(yōu)化交付和服務(wù)質(zhì)量，成為中國領(lǐng)先的LED半導(dǎo)體AMHS設(shè)備提供商！